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Unipulse Co., Ltd.
비접촉 초정밀 변위 측정 센서

Unipulse Corporation 의 초정밀 Gap측정 센서는 변위 진동 측정 센서는 유수의 반도체, FPD, 공작기계, 정밀기기 등 다양한 분야에 
납품되어 사용되고 있습니다.

  • 광파이버 방식 초정정밀 변위 진동 측정 기기: 차동형 변위 측정기, 1채널형 진동 변위 측정기 

  • 정전용량방식 초정밀 변위 측정 센서:  1채널형,   멀티 채널형  <- 세계 유명 메이커의 Lithograph장치에 다량으로 OEM 납품되는 센서입니다.

PM-E  광파이버식 변위 진동 측정 장치 

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PM-E.jpg

특징

■ 완전 비접촉으로 진동 변위, 표면 상태 등의 측정에 폭넓게 사용할 수 있습니다

■ 용도, 위치 정밀도에 따라 프로브를 선택할 수있는 플러그인 방식을 채용하고 있습니다

■ 전자 노이즈에 강하고, 미소 스폿 측정 가능

■ 저렴한 가격으로 유지 보수가 쉽고 빠르게 할 수 있습니다

  •  가성비 최고의 측정 장치 입니다.
     200kHz의 신호를 실시간으로 변위량과 주파수를 측정할 수 있습니다.
     

  • ​국내 납품실적 다수 있습니다.
     (초정밀 가공기용 Tool / 피에조 변위량 응답 주파수 측정,
    초음파 발진 장치 측정, 포커싱용 actuator변위량 용도로 납품)

ATW200  차동형 광파이버식 변위 진동 측정 장치 

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ATW200.jpg

특징

  •  3MHz의 고속 응답성입니다.

  •  나노미터 초고분해능 입니다

  •  측정물의 반사율 변화의 영향을 제거합니다

  •  가변 로우패스 필터 포함입니다.

  •  간단한 셋팅 조작입니다

PS-ⅠA  정전용량방식 변위 측정 장치, 비접촉

PS-IA.jpg

특징

  • 표준 측정 레인지 30μm~5000μm의 다양한 라인업

  • 도체라면 재질에 따라 감도가 다르지 않습니다

  • 거칠기의 영향을 받지 않습니다

  • 높은 직선성 : ±0.05% 이하 입니다.

  • Low noise : 0.002% / FS(rms) 이하

  • 응답속도 1kHz 

  • 응답속도 5kHz ​모델 PS-ⅠA-HS 

PS-Ⅲ  정전용량방식 멀티 채널 변위 측정 장치, 비접촉

u2.png

특징

  • 표준 측정 레인지 30μm~1000μm의 다양한 라인업

  • 도체라면 재질에 따라 감도가 다르지 않습니다

  • 거칠기의 영향을 받지 않습니다

  • 높은 직선성 : ±0.05% 이하 입니다.

  • Low noise : 0.002% / FS(rms) 이하

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