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Controller: 피에조 스테이지 제어용
제어회로, 피에조 드라이버, 피드백용 변위센서를 일체화하여 피에조 스테이지와 접속하여 Closed loop제어합니다.
▣ Specifications
▣ 4축 controller
▣ Pulse입력 controller
▣ Specifications for Digital controller NCS8000
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