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THK PRECISION은 초정밀 위치 결정 기기를 개발 제조하는 피에조 스테이지 전문 메이커 입니다.
초정밀 위치 결정 기술을 중심으로 한 요소기술을 기반으로, 표준사양 및 고객 주문형 사양에 정성을 다하여 대응하고 있습니다.
Piezo Stage
Piezo Motor Stage
Piezo Impact Actuator
( Piezo impact hammer )
초고감도 Micro Force Sensor
피에조 스테이지
Piezo Stage
투과 홀 타입 X축
투과홀 타입
XY축,
XY축+θz(회전)축
투과 홀 타입 Z축
(box형)
투과 홀 타입 XYZ축
Piezo Motor Stage (Long stroke)
피에조 모터 스테이지
impact actuator
Piezo Impact actuator
Impact Hammer for adjusting and centering
force sensor
Force sensor
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