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피에조 모터 스테이지 (Long stroke)

  • 수십mm의 이동량을 20nm, 40nm의 높은 분해능으로 위치 결정할 수 있는 피에조 모터 스테이지입니다.

  • 정지 유지력(Holding force)이 있는 actuator를 사용하므로 전원을 off해도 위치가 유지됩니다.

  • 진공, 비자성환경 재질의 스테이지 사양에도 대응합니다.

피에조 모터 스테이지 - (주)주원

◈ 특징

  • Compact 

  • 저소모전력

  • 높은 추력

  • 전원을 Off해도 현재의 포지션을 유지 (holding force)

Applications

  • 광학계의 조정도 위치 결정

  • 레이저 얼라이먼트

  • 정밀 맵핑 측정

  • X선 / 분석 측정기기

  • 현미경용 시료 스테이지

  • 위치 조정후에 전원을 OFF한 후의 위치 유지가 필요한 용도에도 적당합니다.

Piezo stage와  Piezo motor stage의 동작 원리 및 특징 비교

"피에조 스테이지" 와  "피에조 모터 스테이지" 는 모두 압전소자를 구동원으로 하고 있으나 동작원리가 다르기 때문에 스테이지의 특징도 다릅니다.

피에조 모터스테이지 라인업

​◈ 피에조 모터 스테이지 Line Up

X축 피에조 모터 스테이지-(주)주원

Piezo motor  X축 스테이지

XY축 피에조 모터 스테이지 - (주)주원

Piezo motor  XY축 스테이지

Z축 피에조 모터 스테이지 - (주)주원

Piezo motor Z축 스테이지

Rotation 피에조 모터 스테이지 - (주)주원

Piezo motor 회전 스테이지

Gonio 피에조 모터 스테이지 - (주)주원

Piezo motor 고니오 스테이지

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Piezo motor용 controller

특주사례 이미지.JPG

Piezo motor stage 특주사례
(​고니오, XYZ, 회전, 고하중설계 가능​)

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