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Force sensor 원리
▶검출원리:
탄성 힌지 가이드로 지지된 검지부에 미소력(힘)이 가해질 때의 변위량을 정전용량 변위 센서로 측정하여 가해진 힘에 해당하는 전압으로 출력합니다.
▶μN ~ mN 수준의 미세 힘을 감지 할 수있는 「미소력 micro force 타입」과
100N 급의 하중을 측정할 수 있는 「고하중 타입」이 있습니다.
센서 접속 구성
▣ Micro Force type
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μN(mgf) 수준의 미소한 힘을 고감도로 감지 및 측정할 수 있습니다.
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경량, 컴팩트하여 취급하기 쉽고, 연구개발 및 장비 조립에도 매우 적합합니다.
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형상이나 감도 변경 등의 커스터마이즈에도 대응합니다.
▣ 고강성 타입 (High-rigidity type)
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100N(10kgf) 이상의 하중을 고분해능으로 감지, 측정할 수 있습니다.
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정밀 가공 및 정밀 프레스 시의 힘 측정 등에 매우 적합합니다.
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형상이나 감도 변경 등의 커스터마이즈에도 대응합니다.
Force sensor와 Z축 피에조 스테이지가 일체화된 구조형 (주문설계)
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Force sensor: 측정범위 30N, 분해능 30mN
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Z축 stroke 100μm, Repeatability nm수준
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접촉하중이 가해진 상태에서 Z축으로 발생력과
Z축 nm반복정밀도의 변위제어가 가능한 일체형 구조 -
고객 주문형 설계 가능
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