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힘센서 - 포스센서 -force sensor

​Force sensor 원리

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▶​검출원리:

탄성 힌지 가이드로 지지된 검지부에 미소력(힘)이 가해질 때의 변위량을 정전용량 변위 센서로 측정하여 가해진 힘에 해당하는 전압으로 출력합니다. 

▶μN ~ mN 수준의 미세 힘을 감지 할 수있는 「미소력 micro force 타입」과

    100N 급의 하중을 측정할 수 있는 「고하중  타입」이 있습니다.

​센서 접속 구성

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▣ Micro Force type

힘센서-포스센서-force sensor-THK PRECISION

▣ 고강성 타입 (High-rigidity type)

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  • 100N(10kgf) 이상의 하중을 고분해능으로 감지, 측정할 수 있습니다.

  • 정밀 가공 및 정밀 프레스 시의 힘 측정 등에 매우 적합합니다.

  • 형상이나 감도 변경 등의 커스터마이즈에도 대응합니다.

Force sensor와 Z축 피에조 스테이지가 일체화된 구조형 (주문형 설계)

  • Force sensor: 측정범위 30N, 분해능 30mN

  • Z축 stroke 100μm, Repeatability nm수준  

  • ​접촉하중이 가해진 상태에서 Z축으로 발생력과
    Z축 nm반복정밀도의 변위제어가 가능한 일체형 구조 

  • ​고객 주문형 설계 가능

Force sensor와 피에조 스테이지의 일체형 구조
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힘센서-FORCE SENSOR-포스센선-THK PRECISION
포스센서-힘센서-FORCE SENSOR- THK PRECISION
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