고객 주문형 피에조 스테이지를 제안ㆍ 설계ㆍ 제작할 수 있는 곳을 찾고 계십니까 ?
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제어 대상물의 중량, 대상물의 크기, actuator type, stroke, 회전각도, resolution, controller의 설치 거리, 진공도를 고려한 상담이 가능합니다.
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광학부품 뿐만이 아니라, 중량물용 alignment unit, 시험 장치를 설계 제안 제작해 드립니다.
① 3점 Tilt Balance용 Z축 피에조 스테이지
웨이퍼 300mm, 탑재하중 10kg이상 가능
② XY축 + 회전 피에조 스테이지
탑재하중 10kg이상 가능
③ Tilt XY축 + Z축 피에조 스테이지
mirror 장착
④ 大開口타입 XY축 + θz(회전) 피에조 스테이지
mask 장착
⑤ 대물렌즈 포커싱 피에조 스테이지
고강성 설계 (High stiffness), 고중량렌즈 대응
고속응답성, 높은 공진주파수
⑥ Z축 포커싱 피에조 스테이지
수kg의 탑재하중을 Z축으로 포커싱용
⑦ 고하중 · Long stroke, 피에조 모터 스테이지 조합
Repeatability ≤±40nm Z, XY, 회전, 고니오XY
⑧ 고니오 Theta XY, X제어
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탑재하중(10kg이상 가능)
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탑재물에 맞추어 스테이지 크기 설계
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Holding force type
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진공환경 가능
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반도체, FPD제조장치의 alignment unit로써 사용
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출하검사성적서 첨부
⑨ Force sensor와 Z축 피에조 스테이지가 일체화된 구조
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Force sensor: 측정범위 30N, 분해능 30mN
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Z축 stroke 100μm, Repeatability nm수준
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접촉하중이 가해진 상태에서 Z축으로 발생력과
Z축 nm반복정밀도의 변위제어가 가능한 일체형 구조 -
고객 주문형 설계 가능
⑩ 초정밀 관련 시험장치 설계 제안
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조미동 스테이지와 Force sensor 및 광학관찰장치의 조합 설계
