Piezo assist stage | (주)주원 | 초정밀 alignment 장치전문

MT_piezo assist stages

피에조 어시스트 정밀 스테이지

MTPA는, 나노 미터 정밀도가 필요한 정밀위치 결정이라든지 미소 하중의 조절을 간단하게 실현 할 수 있는
수동 정밀 스테이지입니다. 크기도 콤팩트하고 사용방법도 간단하며 가격도 저렴합니다.

피에조 어시스트 스테이지 (Piezo Assist Stage)라는 것은, 20 나노미터라는 최소 분해능 및 조동(밀리미터 오더)을 갖춘 Fine & Coarse 조정이 가능한 수동 스테이지입니다.

주된 용도는 테이블의 정밀 위치 결정이나 적은 하중의 컨트롤이 필요한 용도(나노 인덴테이션)에서도 쉽게 실현될 수 있는 수동 정밀 스테이지입니다.

크기도 작고 쉽게 휴대할 수 있으며 사용 방법도 매우 간단합니다.

저예산으로 도입할 수 있는 합리적인 상품입니다.

피에조 어시스트 MTPA 특징

X축, Y축, Z축을 중첩 배치하여 사용 가능
수동으로 20nm의 정밀 위치 결정이 가능
미동 Pizso stroke range 60μm (최소 20nm 분해능)
조동 Stroke range 13mm (마이크로미터 분해능 10μm)
간단한 setup
스테이지용 driver포함하여 공급

피에조 어시스트 스테이지의 동작 원리

<장치의 구성>

피에조 어시스트 스테이지는 마이크로 스테이지 (coarse 조정용) 와 피에조 어시스트 기구(fine조정용)를 X축, Y축에 각각 가지고 있습니다.

마이크로미터의 가동 범위는 최대 13mm이며, 10μm의 분해능으로 위치를 결정할 수 있습니다.

피에조 어시스트의 가동범위는 약 35μm로 20nm 분해능으로 위치를 결정할 수 있습니다. 피에조 어시스트 기구에는 piezo actuator가 내장되어 있으며, 그 신축 기구에 의해 정밀한 위치 설정을 실현할 수 있습니다.

피에조 어시스트 스테이지는 이 두 가지 조정기구를 병용함으로써 최대 13mm 가동범위에서 20nm 분해능의 정밀위치 결정이 가능합니다.

<조동 기구에 의한 정밀 위치 결정>

조동 기구(coarse)에 의한 정밀 위치 결정은 마이크로 미터 노브를 회전시켜서, 미터에 기재된 눈금에 의해 위치를 조정합니다.

<미동 기구에 의한 정밀 위치 결정>

미동 기구(fine)에 의한 정밀 위치 결정은 컨트롤 박스의 노브를 회전시켜 출력전압을 변화시키므로써, 피에조 어시스트 스테이지에 내장되어 있는 piezo actuator의 변위를 제어할 수 있습니다. 그 결과 스테이지의 테이블 위치를 나노미터 수준으로 제어할 수 있습니다.