피에조 스테이지 · 주문형 초정밀 포지셔닝 솔루션 · 초고감도 Force sensor

- 탄성 힌지 가이드로 지지된 검지부에 미소력(힘)이 가해질 때의 변위량을 정전용량 변위 센서로 측정하여 가해진 힘에 해당하는 전압으로 출력합니다. 

 

- μN ~ mN 수준의 미세 힘을 감지 할 수있는 미소력 type :  MEMS actuator 미소힘 측정, 프로브 접촉력 측정, 바이오 세포, 인공근육의 힘 측정 

​

- 100N 급의 하중을 측정할 수 있는 「고하중  타입」이 있습니다.